Language : Japanese

微粒子成膜・薄膜形成技術
微粒子成膜・薄膜形成技術 = 成膜 薄膜 均一 形成 静電スプレー 静電スプレー装置 静電噴霧 静電噴霧装置 静電塗布 静電塗布装置 高性能 高品位 高品質 高精細 極 微液滴 極微粒化 導電 絶縁 重ね 相構造 マスク パターニング SEM TEM 電子顕微鏡 観察基板 分散塗布 塗布 サンプルプレパレーション 分 sample preparetion for nanoparticles sem tem 



微粒子成膜技術

高品質の静電スプレーでナノ分散液などの液材をワークに吹き付ける


【特長】


凝集のないナノ粒子の成膜
薄塗への対応幅が広い
絶縁性の基板にも対応
噴霧液滴のサイズを調整可能
吹き付けのタクトを調整可能
別装置へ後付け可能
別装置との連動動作が可能
マスクを用いて成膜のパターン化が可能
成膜範囲、定量ポンプ、ホットプレート等のカスタマイズに対応可能


【応用例】


電子顕微鏡によるナノ粒子の観察基板の作製
導電性膜の形成
絶縁膜の形成
 発光材料のパターニング
 
レジスト材料の薄膜形成
 塗工(薄塗)
表面改質
バイオサンプルの吹き付け
積層膜の形成
乾燥粉体粒子の製造

【製品】

サンプルプレパレーション装置(PDS-PS01)

(説明)

分散液を観察基板に塗布・乾燥する従来の方法では、溶媒の乾燥工程でナノ材料が凝集体となってしまうため、個々の大きさ・形を把握することが困難でした。『サンプルプレパレーション装置』は、極微細な静電スプレーを用いてナノ材料を基板上に分散塗布し、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過型電子顕微鏡(TEM)による観察を容易にします。


(構成品)

本体(噴霧室、コントローラが一体化)、噴霧ノズル、吸入冶具、付属品
オプション品:濃縮冶具


(基本仕様)PDS-PS01

印加電圧DC6kV
噴霧電流モニタ
噴霧観察のためのフレネルレンズ、光源
ワーク移動用の電動ステージ
ボタン、ツマミによる操作
サイズ W300mm, D400mm, H530mm




微粒子成膜装置(PDS-Dシリーズ)

(説明)

高性能な静電スプレー技術でナノ分散液もしくは液材を微液滴化し、ワーク上に成膜します。非常に微細な噴霧のため、目視での観察が非常に難しく、噴霧観察用のカメラ・光源を備えています。また、噴霧電流を観測する機能もあり、PC画面上の数字で噴霧の状況を確認しながら、噴霧条件を設定できます。また、絶縁性の基板にも付着するように印加電圧の方式で工夫がなされています。オプションの加圧ユニットと組み合わせれば、生産性に応じた噴霧品質に調整できます。

(構成品)

静電噴霧コントローラ、噴霧室(噴霧ノズル、光源、カメラ、電流モニタ、成膜位置調整用のXY電動ステージ)、
デスクトップPC(専用プログラム入り)、吸入冶具、付属品
オプション品:加圧ユニット、濃縮冶具

(基本仕様)PDS-D01
成膜範囲50mm×50mm
印加電圧±5kV(絶縁性基板への対応)
サンプルリザーバー5mL
PC画面で噴霧条件を設定
PC画面で噴霧状態をモニタ





微粒子成膜ユニット(PDS-Uシリーズ)
(説明)
PDS-Dシリーズの高性能な静電スプレー機能を切り出した製品です。別装置に取り付けて連動させることが可能です。もちろん、単独でも使用することができます。

(構成品)

静電噴霧コントローラ、デスクトップPC(専用プログラム入り)、噴霧ノズル、吸入冶具、付属品

(基本仕様)PDS-U01
印加電圧±5kV(絶縁性基板への対応)
サンプルリザーバー5mL
PC画面で噴霧条件を設定
外部信号による制御が可能

加圧併用型静電噴霧セット(ES-Cシリーズ)
(説明)
ノズルに背圧を加えながら静電スプレーするタイプの装置です。高い生産性を求められる用途に適しています。

(構成品)

静電噴霧コントローラ、噴霧ノズル、吸入冶具、付属品

(基本仕様)ES-C-DC15
印加電圧DC15kV
背圧0.2MPa (設置現場に加圧源が必須)
サンプルリザーバー5mL
ボタン、ツマミによる操作
外部信号による制御が可能

液面一定機能付き加圧併用型静電噴霧セット(ES-CSシリーズ)
(説明)
ES-C(ノズルに背圧を加えながら静電スプレーするタイプ)にサンプル液の静水圧を一定にする機能を加えた製品です。サンプルリザーバーの液面が変化する使用量の多い場合に噴霧条件が変わらないように背圧を自動調整します。

(構成品)

静電噴霧コントローラ、噴霧ノズル、液面センサー、吸入冶具、付属品

(基本仕様)ES-CS-DC15
印加電圧DC15kV
背圧0.2MPa (設置現場に加圧源が必須)
静水圧一定機能)
サンプルリザーバー200mL
ボタン、ツマミによる操作
外部信号による制御が可能

【ご参考】サンプル液の誘電率


良好なスプレーを実現するには、誘電率の高いサンプル液が好ましいです。サンプル液の誘電率は、分散媒や含有ナノ材料の誘電率、およびその比率によって決まります。


水(80) ジメチルスルホキシド(47.0) トルエン(2.4)
エタノール(20.7) 酢酸(6.2) 四塩化炭素(2.2)
メタノール(32.6) 1-ブタノール(18.0) シリコーン油(2.2)
イソプロパノール(18) 1-プロパノール(20.0) ヘキサン(2.3)
アセトン(24.3) 酢酸エチル(6.0)  
ジメチルホルムアミド(38) テトラヒドロフラン(7.5)  
ニトロベンゼン(34.8) ジエチルエーテル(4.3)  

問い合わせ



製品・技術・受託加工など...まずはお気軽にどうぞ

弊社の製品・技術に関するご質問等はもちろん、お客さまのニーズに合わせた各種カスタマイズにつきましても、お気軽にご相談ください。お問い合わせ内容に関する機密事項は厳守いたします。

»»「お問い合わせ」へ