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静電分注・パターニング技術
パターニング技術 = パターニング 静電塗布 静電塗布装置 高性能 高品位 高品質 高精細 導電 絶縁 重ね マスク 分注 液滴 pL ピコリットル fL フェムトリットル nL ナノリットル μL マイクロリットル 高粘性 ライン 描画 ドット 静電インクジェット


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静電式パターニング例

高粘性溶液のパターニングが可能

弊社の静電式分注技術は、従来法(インクジェットなど)で困難であったpL〜fLオーダーの微量分注を可能としました。今までは微液滴化できなかった樹脂やグリセリンなどの高粘性試料にも適応できます。また、導電性の素材はもちろん、ガラスなど絶縁性の基板に対しても適応可能です。

この静電式分注技術とXY移動ステージを組み合わせることにより、多彩な微液滴のパターニングが可能となります。側方型顕微鏡を装備して、ノズル先端からワークへ静電吸引される様子を観察しながら液滴形成条件を決められる『側方型静電分注・パターニング装置』や、落射型顕微鏡を装備して基板の上方からリアルタイムに観察しながら視認箇所へダイレクト滴下する『落射観察型パターニング装置』など、多彩なバリエーションでお客様のニーズにお応えします。

静電分注・パターニング事例


弊社の静電分注・パターニング技術を用いた様々なのサンプルをご紹介します。

図説

静電式分注によるパターニング紫外線硬化樹脂のパターニング金ナノ粒子インクのパターニングマイクロカラーフィルタ

金ナノインクのドット(ガラス基板)金ナノインクのライン(Si基板)線幅のバリエーション(金ナノインク/ガラス基板)太いラインの描画(UV硬化樹脂/ガラス基板)近接したライン(金ナノインク/ガラス基板)複合パターン(金ナノインク+UV硬化樹脂 ガラス基板)

【ご参考】サンプル液の誘電率


本装置は『静電誘導』という物理現象を利用しているため、誘電率の高いサンプル液(10以上)が好ましいです。なお、ここで言及している誘電率とは溶媒に含まれている粒子や溶解物も含めた『サンプル液の平均的な誘電率』を示しています。ご参考までに、下記に溶媒のみの誘電率を掲載します


水(80) ジメチルスルホキシド(47.0) トルエン(2.4)
エタノール(20.7) 酢酸(6.2) 四塩化炭素(2.2)
メタノール(32.6) 1-ブタノール(18.0) シリコーン油(2.2)
イソプロパノール(18) 1-プロパノール(20.0) ヘキサン(2.3)
アセトン(24.3) 酢酸エチル(6.0)  
ジメチルホルムアミド(38) テトラヒドロフラン(7.5)  
ニトロベンゼン(34.8) ジエチルエーテル(4.3)  

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